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GB/T 41751-2022 氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法
2024年02月02日 发布
分类：行业标准 点击量：290
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标准编号：GB/T 41751-2022 标准名称：氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法 起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中国电子科技集团公司第四十六研究所、哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司、厦门柯誉尔科技有限公司、山西华晶恒基新材料有限公司、福建兆元光电有限公司。 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2) 发布日期：2022-10-12 实施日期：2023-02-01 
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